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精密诊断技术是使用精密的仪器和方法，对简易诊断难以确诊的设备作出详细评价的技术。一般包括以下几个特点：
（1）使用各种比较复杂的诊断分析仪器或专用诊断设备：
（2）由具有一定经验的工程技术人员及专家在生产现场或诊断中心进行；
（3）需对设备故障的存在部位，发生原因及故障类型进行识别和定量；
（4）涉及的技术知识和经验比较复杂，需要较多的学科配合；
（5）进地深入的信号处理，以及要根据需要预测充备寿命。
近年开发的计算机辅助设备诊断系统和人工智能与诊断专家系统等，也都属于密诊断技术范畴，一般多用于关键机组和诊断比较复杂的故障原因。
精密诊断一般除用于设备的开发研制过程外，更多用于使用维修阶段，由于它所需费用较高，一般只在当简易诊断难以确诊时才予选用。