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七、清洁生产及节水分析
目前我国集成电路生产已具备了——定的规模和基础，初步形成了从产品设计、前工序到后封装的体系轮廓。目前国内主要有7个；芯片制造骨干企业，国内芯片生产企业总的讲规模都不算太大，且产品工艺与国际先进水平有一定的距离。本项目拟建设8英寸(20．32cm)0．35—0．18ltm，预计量产时月投片30000片：12英寸（30．48cm)先进制程线，0．13—0．09gm，月投产3000片。因此，无论是产品工艺还是生产规模都将成为国内最先进的芯片生产企业。
在拟建项目生产技术路线和生产工艺是在国际上较为先进的，技术水平上符合集—成电路加工制作清洁生产的要求。本项目努力提高资源和能源的综合利用能力，水资源综合利用取得一定的效果，部分废水回用，废物减量化，“三废”治理措施合理可行。因此，基本上符合清洁生产的要求，但水资源综合利用仍有潜力可挖。
八、本次环境影响评价的结论与环评体会
(一)环评报告结论
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目(一期)建在北京经济技术开发区内，符合国家信息产业发展规划和政策，符合区域功能区的发展规划和产业布局，本项目的建设性质集中体现了北京市发展高新技术企业、振兴制造业的发展方向，也与北京经济技术开发区环境保护规划基本相符。
首先应该指出的是：芯片制造业属于高新技术密集型生产线项目，本项目全部技术和生产工艺及治理措施全部由外商引进，其生产工艺具有国际先进性。但也应看到，作为企业依据市场需求转产、改产容易，而生产不同规格、数量的芯片，其生产工艺、原材料使用、污染物排放量和源强、用排水量等是不一样的。本次环境影响评价的依据是建设单位提交8英寸(20．32cm)0．35bO．18gm，月投片量为30000片的芯片生产线和12英寸(30．48cm)先进制程线，o．13~0．09gm，月投片量为3000片的初步设计资料，通过物料详细核算、现场监测、类比调查进行评价而得出结论的。
本工程在环保设计中采用了国内、外先进、可行的治理“三废”措施，以确保实现清洁文明生产，各项污染物能够达标排放。
环境影响与预测表明，本工程建成后对当地大气环境影响较小；拟建工程排水由开发区污水处理厂接纳是可行和可靠的，建设单位用水也能够得到保证供应：噪声对工业区划定的三类噪声功能区的环境影响较小。
本次环境评价提出建设单位会同北京市经济技术开发区相关单位在本项目周边50m内不应再规划布置环境敏感建筑，并在厂界周边50m范围内，密集种植高大乔木与低矮灌木、草地相结合的封闭绿化隔离带，一方面是非常好的绿化措施，同时也是防范环境风险与环境安全的最简捷、有效措施。
经详细论证，从环保角度考虑，本项目在认真落实并保证环保资金的投入，切实落实各专题环保治理措施和防范措施、解决好相关环境问题，在完成环境管理机构的环境管理要求的前提下，在北京经济技术开发区41号地块内建设上是可行的。
建议开发区应慎重考虑水资源问题，在北京严重缺水的情况下，加快开展区域规划的环评工作，进行水资源评价，研究水资源的综合规划与综合利用。目前开发区水源为城市水厂的单线供水，建议开发区尽快落实开拓第二条输水管线的方案，落实输入水源与水量，以促进区域经济发展。长期以来，用水需求已经超过了当地水资源的承载能力和环境容量，造成大部分地区地下水超采，除大兴区外，全市地下水埋深下降1～5m。北京市经济技术开发区的总体规划环境影响评价还没有完成环境管理机构与政府部门尚未给出区域总体的给排水计划与用量分配计划。目前开发去实际日消耗水量约3万m，。本项目日用新鲜水量为4500m3，约占全市水资源日消耗量的0．3％，而政府机构给出的本项目一期用水指标为7 500m，，显示出政府对于本项目的支持力度，因本项目还有进行二期项目升级的计划，用水量将更大。本次环境影响评价认为建设单位与开发区管理机构应该进行区域水资源与水综合利用评价。满足区域总体用水功能与经济发展的需要。特别是本项目周边还有用水量更大的京东方液晶项目，本次环境影响评价认为在仅以北京第九水厂作为供水水源，而第十水厂尚未建立，地下水已经没有大规模开采水量，南水北调尚未实施的前提F，单纯从环境保护考虑，本次环境评价建议开发区应慎重考虑水资源问题，在北京严重缺水的情况下，审慎引进高耗水类的项目。但本项目已经取得用水指标，属于符合经核定的用水指标之列。
(二)本次环境影响评价的：工作体会
1．环评技术路线
本评价核心问题是需要从以下几个方面侧重加以讨论：评价叵环境质量现状即区域的环境承载力；结合北京市经济技术
术开发区总体规划(亦庄卫星城总体规划），论证厂址选择的环境可行性和总图布置的合理性；从水资源的供给和利用等?面论证项目选址的可行性，进一步分析并提出节水途径和措施：拟建项目的清洁生产水平；对有毒危险品的储运及使用进行风险分析；污染治理措施；污染物达标排放分析等7个方面进行全面阐述。以实现北京市经济技术开发区的经济效益、社会效益和环境效益协调发展为最终日的。
2．工作难点
本项目属于高新技术行业，其特点是技术新、工艺复杂、环境污染源类比调查困难，没有可以借鉴的历史资料及监测数据。因此工作重点要放在工程分析与工程污染源评价上。只有通过对项目生产工艺、工程污染源的详细调查与分析，通过详细准确的物料衡算，元素平衡，才能较为准确的预测项目投产后对环境可能造成的影响程度、范围以及当地环境可能发生的变化状况，并在此工作基础上，才能对拟建项目建设的可行性从环境角度做出结论。同时才能提出相应的环保治理措施与建议，为领导的决策、设计部门的设计和建设单位的管理提供依据。
由于涉及高新技术行业的环境影响评价，建设单位总是以各种理由对于建设项目可能产生的环境问题进行敷衍，通过类比调查和物料平衡及元素平衡是有效的解决方案。另外，电子行业并不是传统轻污染行业，电子产品的制造正向着化学信息晶的方向发展，其特点是原料消耗量大、种类多、辅助工艺多，用水量大。本次讦榆体会就是要作好环评工作，一定要结合芯片生产项目的特点和环境敏感问题，及早发现该项目可能发生的环境问题，提出解决这些环境问题的途径，要进行详细的清洁生产论证，给出环境监管和治理措施方案。
3．标准引用
本项目为半导体芯片生产项目，主要生产设备全部由国外引进，主要引进地是日本、美国、荷兰，其生产过程的气态主要污染物较多，经污染因子识别与环评大纲专家讨论会意见，从其对环境影响程度和危害性看，主要有H2S04雾、NOx、氟化物、HCl、C12＼非甲烷总烃、氨、H3P04、Sill4、PH，、AsH30本次环境影响评价认为，目前半导体芯片行业在我国与世界各地均是新兴行业，其污染物种类较多，但相应的排放标准尚未界定清晰，我国信息产业部也正在制定相应的排放规定、技术导则和排放标准，作为本项目来说，在我国没有行业标准或国家标准之前，部分污染物排放限值执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)中的“最局允许排放浓度和最高允许排放速率”新污染源二级标准，氨执行《恶臭污染物排放标准》(GBl4554--93)中氨的限值，特征污染物没有查询到设备引进地的排放标准。PH3和AsH3执行国家《工业企业设计卫生标准》(TJ 36—79)车间空气中有害物质的最高容许浓度0．3mg／m3，H3P04执行前苏联车间卫生标准1．0mg／m3，SiH4执仃欧盟中荷兰的排放导则中的相关规定，具体指标见表6。参考执行上述推荐控制标准是可行的，在我国制定有行业标准或国家标准或其他相应污染物控制标准之后，建设单位应遵照执行。